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背面激光减薄设备-
采用同边进出花篮，空花篮内部自循环
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设备可实现单轨独立上/下料，操作方便
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整机采用工业PC控制、模块化柔性化编程设计
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满足AGV双通道同步上/下料，减少AGV对接需求及机台数量
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BC⼤光斑激光开膜设备-
整机采用工业 PC 控制、模块化柔性化编程设计；
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设备实现双线供上/下料，操作方便；
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满足 AGV 双层双线同步上/下料，减少 AGV 对接需求及机台数量 ；
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根据客户需求定制，实现无损、高产能、高精度、高效率 ；
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TOPCon激光掺杂设备-
采用j9国际站星自主研发激光器及特殊光路设计，实现BSG激光直掺；
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根据客户需求定制，实现无损、高产能、高精度、高效率的激光掺杂；
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精密视觉定位，高速柔性机构传输，碎片率低于0.02%；
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